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利用密度泛函理论平面波的赝势方法,对Be、Ca掺杂纤锌矿ZnO的BexZn1-xO,CayZn1yO三元合金和BexCayZn1-xyO四元合金的晶格常数、能带特性和形成能进行计算,结果表明:BexZn1-xO晶格常数随Be掺杂量的增大线性减小,但CayZn1yO晶格常数随Ca掺杂量的增大而增大.BexZn1-xO和CayZn1-yO能带的价带顶都由O2p态电子占据,导带底由Zn4s态电子占据,其能隙随Be或Ca掺杂量的增大而变宽.由Be和Ca共掺ZnO得到的Be0.125Ca0.125Zn0.75O四元合金,其晶格常数与ZnO相匹配,能隙比ZnO大,稳定性优于Be0.25Ca0.125Zn0.625O和Be0.5Zn0.5O合金,Be0.125Ca0.125Zn0.75O/ZnO异质结构适合制作高质量ZnO基器件.