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在动态测试领域传感器高过载低量程一直是未能彻底解决的问题。本文在简单论述MEMS传感器原理的基础上,比较了MEMS传感器和传统工艺的压电传感器的特点,并进行了两类传感器在高过载低量程测量中的应用比较,得到了MEMS传感器能够较好完成高过载低量程测量要求的结论。
高过载低量程测试传感器的选择比较
【摘 要】
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在动态测试领域传感器高过载低量程一直是未能彻底解决的问题。本文在简单论述MEMS传感器原理的基础上,比较了MEMS传感器和传统工艺的压电传感器的特点,并进行了两类传感器在高过载低量程测量中的应用比较,得到了MEMS传感器能够较好完成高过载低量程测量要求的结论。
【机 构】
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山西太原华北工学院六系030051
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2003年09期
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