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本文首先简要介绍异质结双极晶体管(HBT)的结构和特点,接着评述HBT工艺技术发展现状、单元设计和目前制作的功率HBT的性能。
微波功率异质结双极晶体管
【摘 要】
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本文首先简要介绍异质结双极晶体管(HBT)的结构和特点,接着评述HBT工艺技术发展现状、单元设计和目前制作的功率HBT的性能。
【机 构】
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机电部第13研究所石家庄050051
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1991年2期
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