外延工艺与器件质量关系试验的点滴体会

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在伟大领袖毛主席关于“抓革命,促生产,促工作,促战备”的教导指引下,我们分析了当外延片的表观质量、电阻率、外延层厚度、层错等均符合制管要求时,在制管工艺也相同的情况下,发现制管成品率有很大差别,在外延材料里到底哪些因素影响了器件的质量呢?为此,我们把管子质量和外延材料联系起来,作了一些试验。现将试验的点滴情况汇报如下。由于我们水平差,错误之处望同志们批评、指正。 Under the guidance of Chairman Mao, the great leader, on “grasping the revolution, promoting production, promoting work and promoting combat readiness,” we analyzed that when the apparent qualities, resistivity, epitaxial layer thickness, stacking faults and the like of the epitaxial wafers meet the requirements of pipe making When the same process of tube making, it is found that there are great differences in the yield of tube making. Which factors affect the quality of the device in the epitaxial material? For this reason, we relate the quality of the tube to the epitaxial material, Some experiments. Now the test of the situation reported as follows. Due to our poor standards, we hope the comrades will criticize and correct the mistakes.
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