MMI阵列波导光栅复用/解复用器的研制

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cccpx918
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详细分析了基于自镜像效应的 MMI DMUX器件的基本工作原理 ,在此基础上 ,在 SOI材料上完成了对 8信道 MMI DMU X的具体设计 .该器件的输入、输出单模波导采用 Soref的大截面脊形光波导理论进行优化设计 ,最后获得了当输入、输出单模波导宽度为 5 μm,SIE多模波导宽度和长度分别为 72 μm和 6 313.4μm时 ,该器件对8信道波长的隔离度均在 35 d B以上 ,且理论传输损耗 <0 .18d B. The basic working principle of MMI DMUX device based on self-mirroring effect is analyzed in detail, and on the basis of this, the concrete design of 8-channel MMI DMU X is completed on SOI material.The input and output single-mode waveguide of this device is Soref large Section waveguide optical waveguide theory. Finally, we obtain the isolation of 8-channel wavelength when the input and output single-mode waveguide width is 5 μm and the width and length of SIE multi-mode waveguide are 72 μm and 6 313.4 μm, respectively Degrees are above 35 d B, and the theoretical transmission loss <0.18d B.
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