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介绍了一种晶圆上厚胶边缘的去除方法（7～20μm），结合化学去除和边缘曝光二者的优势。与现有技术相比，缩短了厚胶边缘光刻胶去除的时间，通过调整各项工艺参数，在保证边缘去除效果的前提下提高了产能，并减少了化学边缘去除液的用量及边缘曝光的时间，起到降本增产的作用。
厚胶边缘去除方法研究
【摘 要】
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介绍了一种晶圆上厚胶边缘的去除方法（7～20μm），结合化学去除和边缘曝光二者的优势。与现有技术相比，缩短了厚胶边缘光刻胶去除的时间，通过调整各项工艺参数，在保证边缘去除效果的前提下提高了产能，并减少了化学边缘去除液的用量及边缘曝光的时间，起到降本增产的作用。
【机 构】
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
【出 处】
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现代工业经济和信息化
【发表日期】
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2022年11期
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