【摘 要】
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本文对半导体器件测试系统的组成和工作原理进行了简单介绍,并对其脉冲电流校准的难点进行了分析.根据脉冲电流测试的工作原理,用9230A系列精密电流分流器和34411A型数字多用
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本文对半导体器件测试系统的组成和工作原理进行了简单介绍,并对其脉冲电流校准的难点进行了分析.根据脉冲电流测试的工作原理,用9230A系列精密电流分流器和34411A型数字多用表组建了校准装置.通过9230A系列精密电流分流器将脉冲电流转化为脉冲电压,在34411A型数字多用表的直流电压测量功能下,用其内部电平触发功能,实现脉冲电压的精确测量,解决了半导体器件测试系统脉冲电流校准的难题.研究和实践表明,本校准装置简单可靠、方便实用、满足脉冲电流量值传递要求.
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