【摘 要】
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本文研究了锑化铟外延结构的霍尔传感器,其磁感应强度一直到17特斯拉以前,霍尔常数均不随磁感应强度而变。工业生产的霍尔传感器采用单晶和在半绝缘的砷化镓基底上生长外延
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本文研究了锑化铟外延结构的霍尔传感器,其磁感应强度一直到17特斯拉以前,霍尔常数均不随磁感应强度而变。工业生产的霍尔传感器采用单晶和在半绝缘的砷化镓基底上生长外延层两种型式。单晶型霍尔传感器制做时,磨光工序是十分费
In this paper, we study the Hall sensor with indium antimonide epitaxial structure. Before the magnetic induction intensity reaches 17 Tesla, the Hall constant does not change with the magnetic induction intensity. Hall sensors manufactured in industry use both single crystal and epitaxial layers grown on semi-insulating gallium arsenide substrates. When the single crystal Hall sensor is made, the polishing process is very feeble
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