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以不同锡、镉比的CdO、SnO<sub>2</sub>混合粉料作靶,采用直流溅射方法制得镉、锡复合氧化物薄膜。由XPS及SEM分别对薄膜的组成与形貌进行分析,并探讨了掺钯前后,Sn/Cd比、工作温度及气体浓度等对CdO—SnO<sub>2</sub>混合溅射膜性能的影响。
镉,锡复合氧化物薄膜的气敏性能
【摘 要】
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以不同锡、镉比的CdO、SnO<sub>2</sub>混合粉料作靶,采用直流溅射方法制得镉、锡复合氧化物薄膜。由XPS及SEM分别对薄膜的组成与形貌进行分析,并探讨了掺钯前后,Sn/Cd比、工
【机 构】
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中国科学技术大学,中国科学技术大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1994年3期
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