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对不同时代的单片微波集成电路(MMIC)的器件工艺发展和应用发展状况进行概况总结,并结合当前的研究与应用热点,重点分析以砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)为代表的微波化合物固态器件和基于MMIC的异构异质集成新技术路径,并就今后发展的趋势做出展望。
微波固态器件与单片微波集成电路技术的新发展
【摘 要】
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对不同时代的单片微波集成电路(MMIC)的器件工艺发展和应用发展状况进行概况总结,并结合当前的研究与应用热点,重点分析以砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)为代表的微波化合物固态
【机 构】
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复旦大学微电子学院,清华大学无锡应用技术研究院,桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室,黄山学院信息工程学院智能微系统安徽省工程技术研究中心
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2021年2期
【基金项目】
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广西精密导航技术与应用重点实验室开放基金(DH201913),安徽省重点研究与开发计划(201904b11020007)
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