【摘 要】
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由于汽车应用环境相当恶劣，对机油压力传感器的可靠性要求很高。采用波纹膜片隔离技术设计了一种新型的MEMS机油压力传感器。分析了波纹膜片、充油腔体结构及硅油对压力传感器
【机 构】
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河南理工大学材料科学与工程学院,河南理工大学理化系
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由于汽车应用环境相当恶劣，对机油压力传感器的可靠性要求很高。采用波纹膜片隔离技术设计了一种新型的MEMS机油压力传感器。分析了波纹膜片、充油腔体结构及硅油对压力传感器性能的影响。理论和实验结果指出，合理的设计波纹结构、充油腔体结构、减小腔体体积及净化好硅油是获得高性能机油压力传感器的关键.研制的传感器在温度为-40—125℃，量程为0．6MPa的工作条件下，测量精度优于1．5％。
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