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描述了非晶硅薄膜晶体管(TFT)的热电特性,表明TFT是一种有潜力的室温红外焦平面阵列(IRFPA)的敏感元件,介绍了集成式8×8TFT IRFPA的主要制作工艺,并给出了实验结果.
TFT的热电特性及其在室温IRFPA中的应用
【摘 要】
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描述了非晶硅薄膜晶体管(TFT)的热电特性,表明TFT是一种有潜力的室温红外焦平面阵列(IRFPA)的敏感元件,介绍了集成式8×8TFT IRFPA的主要制作工艺,并给出了实验结果.
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2003年z2期
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.59995550-1)和清华大学985基金资助项目.
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