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研究了用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土掺杂纳米ZnO薄膜结构、导电性及光透射性能.结果显示,在500 ℃氧化、热处理稀土元素Nd掺杂后能够明显改善纳米ZnO薄膜的结构特性,薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小.掺Nd使ZnO薄膜的电性能有所改善但使纳米ZnO薄膜的光透射性有所降低.
掺Nd纳米ZnO薄膜特性研究
【摘 要】
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研究了用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土掺杂纳米ZnO薄膜结构、导电性及光透射性能.结果显示,在500 ℃氧化、热处理稀土元素Nd掺杂后能够明显改善纳米ZnO薄膜的结构特性,薄
【机 构】
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内蒙古大学物理系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年3期
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