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本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。
硅表面缺陷对金刚石成核结膜的重要作用
【摘 要】
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本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年2期
【基金项目】
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国家高科技和上海市自然科学基金
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