论文部分内容阅读
本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理，重点分析了光纤探针的基本理论，导出了理想状态下光纤探讨与被测表面的耦合效率，分析了光纤探针扫描时表面轮廓对语效率的调制原理，给出了单模光纤探针探头的基本结构，在实验中用单模光纤探针式光学轮廓仪实验装置进行了测试，给出了实验结果的误差分析，并与多模光纤探针的测试结果进行了比较