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利用负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积系统制备了碳纳米管.用扫描电子显微镜研究了碳纳米管的生长,结果表明碳纳米管的生长随着负衬底偏压的增大先增强,然后减弱,并且出现了部分准直的碳纳米管.分析和讨论了负衬底偏压对碳纳米管生长的影响.
负衬底偏压对碳纳米管生长的影响
【摘 要】
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利用负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积系统制备了碳纳米管.用扫描电子显微镜研究了碳纳米管的生长,结果表明碳纳米管的生长随着负衬底偏压的增大先增强,然后减弱,并且出现了
【机 构】
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亚洲大学分子材料与技术系,重庆大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2002年9期
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