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本文分析了冷凝泵的内部构造、工作原理 ,详细叙述了工作时的相位关系。使读者对其有一个全新的认识。
冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养
【摘 要】
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本文分析了冷凝泵的内部构造、工作原理 ,详细叙述了工作时的相位关系。使读者对其有一个全新的认识。
【机 构】
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华越微电子有限公司!浙江绍兴312016
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2000年06期
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