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介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体结合良好.分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力.
网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究
【摘 要】
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介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽
【机 构】
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太原理工大学表面工程研究所,太原理工大学表面工程研究所
【出 处】
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金属热处理学报
【发表日期】
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2002年2期
【基金项目】
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山西省青年基金
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