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金属纳米颗粒薄膜由于表面等离激元导致的独特光学性质,引起了研究热潮,广泛应用于增强发光材料和器件量子效率,提高提高太阳能电池吸光率,以及表面增强Raman散射探测等领域.本文采用磁控溅射技术制备银纳米颗粒薄膜,并通过紫外-可见分光光度计对其表面等离子共振特性进行表征,研究溅射功率、退火温度等条件对薄膜表面等离子共振特性的影响规律.