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日本东丽公司开发出中空结构聚酰亚胺密封材料
日本东丽公司开发出中空结构聚酰亚胺密封材料
来源 :石油化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daTyrant
【摘 要】
:
日本东丽公司开发出中空结构的新型感光聚酰亚胺密封黏合薄膜材料。该材料可利用感光图案加工技术,在薄膜内形成微细的中空结构,与以往利用金属板等密封配件的方法相比,可将产品
【出 处】
:
石油化工
【发表日期】
:
2014年8期
【关键词】
:
感光聚酰亚胺
日本东丽公司
中空结构
密封材料
开发
薄膜材料
加工技术
密封配件
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日本东丽公司开发出中空结构的新型感光聚酰亚胺密封黏合薄膜材料。该材料可利用感光图案加工技术,在薄膜内形成微细的中空结构,与以往利用金属板等密封配件的方法相比,可将产品的体积减少1/3。利用该技术可在半导体晶圆上的感光性黏合薄膜中统一形成大量的中空结构。
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