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论文提出了一种分层Petri网模型用于半导体生产线建模。首先，总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用，继而给出了分层Petri网的定义及其建模过程。最后以一个典型的半导体生产线为例，进行该方法的应用研究。
基于分层Petri网的半导体生产线建模
【摘 要】
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论文提出了一种分层Petri网模型用于半导体生产线建模。首先，总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用，继而给出了分层Petri网的定义及其建模过程。最后以一个典型的半导体生
【机 构】
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同济大学CIMS中心
【出 处】
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计算机工程与应用
【发表日期】
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2004年35期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(编号:60374005)资助
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