【摘 要】
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随着微电子技术的发展和高度集成化的趋势,压电薄膜材料愈来愈受到人们的重视.本文对铅基类压电薄膜材料的研究进展进行了评述,主要讨论了:(1)两种主要制备方法:脉冲激光熔融
【机 构】
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湘潭大学基础力学与材料工程研究所,湘潭大学材料与光电物理学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(10072052)资助项目
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随着微电子技术的发展和高度集成化的趋势,压电薄膜材料愈来愈受到人们的重视.本文对铅基类压电薄膜材料的研究进展进行了评述,主要讨论了:(1)两种主要制备方法:脉冲激光熔融法(PLD)和溶胶凝胶法(Sol-Gel);(2)压电薄膜微观结构的表征,如畴结构,薄膜材料与大块材料的差别等;(3)压电薄膜材料力学、电学及相互耦合性能的评价参数,薄膜处理过程的相变和残余应力和破坏特征.最后提出了人们可能关注的一些问题.
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