太赫兹InP基InAlAs/InGaAs PHEMTs的研制

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuww

【摘要】

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研制了一种T型栅长为90nm的InP基In0.52Al0.48 As/In0.65 Ga35As赝配高电子迁移率晶体管(PHEMTs).该器件的总栅宽为2x25μm,展现了极好的DC直流和RF射频特性,其最大饱和电流

【作者】

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王志明黄辉胡志富赵卓彬崔玉兴孙希国李亮付兴昌

【机构】

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北京理工大学毫米波与太赫兹技术北京市重点实验室,中国计量科学研究院,河北半导体研究所

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2018年2期

【关键词】

：

磷化铟赝配高电子迁移率晶体管 INALAS/INGAAS 在片测试单片集成电路 InPPHEMTsInAlAs/InGaAson-wafer measure

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研制了一种T型栅长为90nm的InP基In0.52Al0.48 As/In0.65 Ga35As赝配高电子迁移率晶体管(PHEMTs).该器件的总栅宽为2x25μm,展现了极好的DC直流和RF射频特性,其最大饱和电流密度和最大有效跨导分别为894 mA/mm和1 640 mS/mm.采用LRM+(Line-Reflect-Reflect-Match)校准方法实现系统在1~110 GHz全频段内一次性校准,减小了传统的分段测试多次校准带来的误差,且测试数据的连续性较好.在国内完成了器件的1~110 GHz全

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