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锗晶片的阳极氮化是在氨:氮等离子体中进行
Anodic nitriding of germanium wafers is performed in ammonia: nitrogen plasma
氮化锗膜的红外吸收光谱
【摘 要】
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锗晶片的阳极氮化是在氨:氮等离子体中进行
Anodic nitriding of germanium wafers is performed in ammonia: nitrogen plasma
【机 构】
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安徽大学物理系
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1990年03期
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