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本文从理论和实验研究了连续CO2激光辐照下磷离子注入Si对He-Ne激光束反射率呈现的动态干涉效应。从反射强度随时间的变化看出,Si片离子注入层固相外延的速率在整个再结晶过程中是不均匀的。
强CO2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应
【摘 要】
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本文从理论和实验研究了连续CO2激光辐照下磷离子注入Si对He-Ne激光束反射率呈现的动态干涉效应。从反射强度随时间的变化看出,Si片离子注入层固相外延的速率在整个再结晶过程中是不均匀的。
【机 构】
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中国科学院力学研究所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1982年9期
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