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综述了微角度的光学测量方法.就干涉法、自准直法和全内反射差动探测法等测量方法的原理及特点进行了讨论.给出了各方法的典型实验装置,讨论了各装置的特点及应用局限性,并对这些方法的进展进行了探讨.
微角度的光学测量
【摘 要】
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综述了微角度的光学测量方法.就干涉法、自准直法和全内反射差动探测法等测量方法的原理及特点进行了讨论.给出了各方法的典型实验装置,讨论了各装置的特点及应用局限性,并对
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2002年4期
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