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等离子体源离子注入（ＰＳⅡ）是８０年代末在常规离子注入基础上发展起来的材料表面改性技术。具有设备结构简单、工件注入处理时间短、成本低、全方位注入等特点。本文概述了ＰＳⅡ技术的原理及发展，并对ＰＳⅡ应用的典型实例及所存在的问题作了说明。
全方位离子注入技术概述
【摘 要】
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等离子体源离子注入（ＰＳⅡ）是８０年代末在常规离子注入基础上发展起来的材料表面改性技术。具有设备结构简单、工件注入处理时间短、成本低、全方位注入等特点。本文概述了ＰＳⅡ技术的原
【机 构】
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西南交通大学
【出 处】
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铁道物资科学管理
【发表日期】
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1996年4期
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