多晶硅生产用煤基高纯石墨性能及应用

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本工作以煤焦颗粒和高温煤沥青为原料制备高纯石墨,测试并分析了其微观结构和主要物理性能,将其应用于多晶硅制备工艺的还原炉,发挥夹持硅芯、有效导电和传热作用,探索提升还原炉内生产可靠性和石墨组件复用率的措施.结果表明,高纯石墨试样结构总体较光滑,在不同尺度下局部和整体均展现出良好的结构相似性.制备的高纯石墨材料具有突出的物理性能,体积密度为1.84?1.88 g/cm3,肖氏硬度为55.2~62.4Hs,抗折强度为33.9~45.6MPa,抗压强度为66.3~78.8 MPa,热膨胀系数为3.76×10-6/℃~4.08×10-6/℃,电阻率为8.92?11.98μΩ·m,灰分含量为133?202 mg/kg,各项指标表现优异.根据元素成分分析,碳元素占主体,含量为88.71wt%~90.57wt%,原子含量为92.09at%~93.25at%.除了基体碳元素外,其他元素主要有O,S,Si和Al,O的质量含量为7.15wt%~9.79wt%,原子含量为5.61at%~7.57at%.除C,O两种元素外,其他元素含量均较低,原子含量均低于lat%.通过分析还原炉中硅芯因导电不均质和热量集中引起的“亮点”和“倒棒”现象,优化石墨组件结构,将石墨帽的复用率从5.85%提升至7.28%,石墨座的复用率从7.95%提升至9.01%,倒棒率从14.22%降为4.43%,有效地保障了还原炉内安全生产,降低了硅棒废品率和生产成本,展示了煤基高纯石墨在硅晶材料制备领域的良好应用前景.
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