射频板条CO2激光器放电特性的数值研究

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给出了射频板条CO2激光器α型放电集总参数等电电路模型。计算了谐振放电状态下集总参数的电路方程得到了沿激光器电极长度方向上的电压幅度和相位的分布,沿电极最小的相对电压幅度起伏约为1.27%,由模型推导出用宏观测量参数表示的RLP和E/Pgas的计算公式,不同于RalfMalz的结果,建立了射频板条CO2激光器的实验装置,获得了均匀射频放电和CO2激光。
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