【摘 要】
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本文在理论和实验上研究了适合于测量位移和监督波前的双频相位调制干涉法.对由颗粒噪声、压电陶瓷的滞后作用、已调波及其振幅偏离值之间的相位移动决定的误差进行了分析,表
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本文在理论和实验上研究了适合于测量位移和监督波前的双频相位调制干涉法.对由颗粒噪声、压电陶瓷的滞后作用、已调波及其振幅偏离值之间的相位移动决定的误差进行了分析,表明在实际条件下可得到 2π/180的相位测量误差.
In this paper, the dual-frequency phase-modulated interferometry suitable for measuring displacement and supervising the wavefront is researched theoretically and experimentally, which is determined by the phase motion between particle noise, hysteresis of piezoceramic, modulated wave and its amplitude deviation The error is analyzed, which shows that the phase measurement error of 2π / 180 can be obtained under the actual conditions.
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