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Si含量对NbN/CrSiN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cc_7722

【作 者】

：

袁庆  李伟  刘平  张柯  马凤仓  刘新宽  陈小红  何 

【出 处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2018年01期

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