【摘 要】
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以冶金级硅为原料进行了制备高纯多晶硅锭的研究，自行设计了真空感应熔炼与定向凝固设备、电子束熔炼设备。通过酸洗、真空感应熔炼与第一次定向凝固、电子束熔炼、真空感应熔
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以冶金级硅为原料进行了制备高纯多晶硅锭的研究，自行设计了真空感应熔炼与定向凝固设备、电子束熔炼设备。通过酸洗、真空感应熔炼与第一次定向凝固、电子束熔炼、真空感应熔炼与第二次定向凝固等组合步骤对工业硅进行提纯。利用电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-AES）进行成分分析，实验结果表明，定向凝固有效去除了金属杂质，电子束对蒸汽压高的元素，尤其是磷元素的去除作用明显。Al的浓度降低到了0．4×10^-6，Fe、Ca、Ti、Mn、Cu、Zn等金属杂质的浓度降到了0．1×10^-6以下，P含量降
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