【摘 要】
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一、前言压力传感器的灵敏度温度漂移是生产者和使用者都感头痛的问题。它引起的相对测量误差(灵敏度温度系数)可高到10~(-1)数量级。即使是目前精度最好的集成半导体压力传
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一、前言压力传感器的灵敏度温度漂移是生产者和使用者都感头痛的问题。它引起的相对测量误差(灵敏度温度系数)可高到10~(-1)数量级。即使是目前精度最好的集成半导体压力传感器,具有良好温度自补偿性能的产品比例也很小。
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