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为解决微流体在微流控芯片上的单向流动，进而实现生化反应的片上系统，采用微机电系统（MEMS）技术加工出SU-8胶微型阀片．SU-8胶阀片具有弹性模量和弹性常数低、开启压力小、反向泄漏小、易于加工等特点．从理论上分析了不同厚度（10μm，15μm，20μm，25μm）的微型阀片在不同压力作用下的挠度和应力分布，在相同尺寸和压力下，SU-8微阀片的挠度与传统的硅阀片的挠度相比要大10倍左右．讨论了有阻尼作用下的谐振频率以及过流特性。可知阀臂和阀座的尺寸是影响阀片性能的主要因素．给出了加工工艺，测试了阀片的正反