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确定了光刻胶的光刻工艺条件，研制了了适宜的显影液，介绍了感光树脂的应用价值。
光敏聚酰亚胺光刻胶成膜技术探讨
【摘 要】
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确定了光刻胶的光刻工艺条件，研制了了适宜的显影液，介绍了感光树脂的应用价值。
【机 构】
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河北工业大学化工新产品开发中心
【出 处】
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河北化工
【发表日期】
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1998年1期
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