【摘 要】
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Intrinsicβ-Ga_2O_3 and Zn-dopedβ-Ga_2O_3 films were prepared using RF magnetron sputtering.The effects of the Zn doping and thermal annealing on the structura
【机 构】
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School of Physics,Ludong University,
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Intrinsicβ-Ga_2O_3 and Zn-dopedβ-Ga_2O_3 films were prepared using RF magnetron sputtering.The effects of the Zn doping and thermal annealing on the structural and optical properties are investigated.In comparison with the intrinsicβ-Ga_2O_3 films,the microstructure,optical transmittance,optical absorption,optical energy gap,and photoluminescence of Zn-dopedβ-Ga_2O_3 films change significantly.The post-annealedβ-Ga_2O_3 films are polycrystalline.After Zn doping,the crystallization deteriorates,the optical band gap shrinks,the transmittance decreases and the UV,blue,and green emission bands are enhanced.
Intrinsic β-Ga 2 O 3 and Zn-doped β-Ga 2 O 3 films were prepared using RF magnetron sputtering. The effects of the Zn doping and thermal annealing on the structural and optical properties are investigated. In contrast to the intrinsic β-Ga 2 O 3 films, the microstructure, optical transmittance, optical absorption, optical energy gap, and photoluminescence of Zn-doped β-Ga_2O_3 films change significantly. The post-annealed β-Ga_2O_3 films are polycrystalline. After Zn doping, the crystallization deteriorates, the optical band gap shrinks, blue, and green emission bands are enhanced.
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