【摘 要】
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电容传感器常用来测量微小间距和薄片绝缘介质的厚度.由于电容测量的非接触特性,基于电容原理的塑料薄膜厚度测量可实现在线不间断测量.但是对于扫描测量,各种因素造成的极板
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072中国特种设备检测研究中心,北京,100013;
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电容传感器常用来测量微小间距和薄片绝缘介质的厚度.由于电容测量的非接触特性,基于电容原理的塑料薄膜厚度测量可实现在线不间断测量.但是对于扫描测量,各种因素造成的极板间距变化直接影响厚度测量的精度.本文提出了双涡流传感器振动补偿方案,实时同步测量极板间距变化,对厚度计算进行补偿,提高了系统的测量精度.实际的测量数据验证了振动补偿方案对提高测量精度的有效性.
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