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随着微电路变得更小和更复杂，并且供应者之间的竞争继续趋于白热化，制造厂商们正考虑激光在制作和工艺诊断方面更广泛的作用。有着大量可用的短波长光子和供选择性光化学用的各种波长的高功率激光，这些前景引起了制造厂商们极大的兴趣。
半导体的激光加工新技术为未来的集成电路提供了希望
【摘 要】
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随着微电路变得更小和更复杂，并且供应者之间的竞争继续趋于白热化，制造厂商们正考虑激光在制作和工艺诊断方面更广泛的作用。有着大量可用的短波长光子和供选择性光化学用的各种波长的高功率激光，这些前景引起了制造厂商们极大的兴趣。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1984年21期
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