【摘 要】
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据《SolidState Tech.》2008年11/12期报道,台积电(TSMC)与荷兰半导体设备商MAPPER公司在22nm技术中开展合作,MAPPER将向台积电提供一台12英寸无光罩多重电子束微影设备,让台
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据《SolidState Tech.》2008年11/12期报道,台积电(TSMC)与荷兰半导体设备商MAPPER公司在22nm技术中开展合作,MAPPER将向台积电提供一台12英寸无光罩多重电子束微影设备,让台积电投入22nm及更先进制程技术的研究。荷兰MAPPER公司提供的微影设备,使用超过一万条平行电子束,直接
According to “SolidState Tech.” Issue 11/12 2008, TSMC and Dutch semiconductor equipment maker MAPPER are working together on 22nm technology, and MAPPER will supply TSMC with a 12-inch maskless multi-electron beam lithography , Let TSMC put 22nm and more advanced process technology research. The photolithographic equipment provided by MAPPER, the Netherlands, uses more than 10,000 parallel electron beams directly
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