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提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值.这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度.
一种提高极值法监控精度的方法
【摘 要】
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提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值.这一方法既可提高淀积规整膜系时的
【机 构】
：
华中科技大学
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2001年5期
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