GaP(111)表面吸氧的AES及WF研究

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用AES(俄歇电子谱)及Kelvin探头对Gap(111)表面吸氧进行了研究。发现在GaP(111)表面上有两种状态的氧存在:ⅰ)在氧暴露量小于1000L时,表面上主要是吸附状态的氧,使功函数(WF)增加;ⅱ)当氧的暴露量大于1000L后,表面发生氧化,功函减小,且有磷氧化物的升华。
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