化学溶液沉积法制备的Bi4Ti3O12铁电薄膜的电学性能研究

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采用化学溶液沉积工艺在电阻率为6~9Ω·cm的n-Si(100)衬底上生长Bi4Ti3O12铁电多晶膜,研究了薄膜的电学性能,结果表明在650℃下退火1h得到的Bi4Ti3O12薄膜具有良好的介电和铁电性能,某介电常数ε=129,剩余极化Pr=5.1μC/cm^2,矫顽电场Ec=96kV/cm。
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