声光外差干涉精密动态角度测量系统

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本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪.使用普通氦-氖激光器,采用声光调制、光外差干涉、电信号混频、比相技术,可得到较高的测量分辨率.干涉仪结构简单调整方便。 This paper presents a new type of interferometer for precision angle measurement. Using ordinary helium-neon laser, the use of acousto-optic modulation, optical heterodyne interference, electrical signal mixing, phase contrast technology, higher measurement resolution can be obtained. Interferometer structure easy to adjust.
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