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叙述了金刚石的特性，介绍了最近研究的几种气相合成金刚石方法，给出了气相合成金刚石的必要条件以及气相合成金刚石薄膜的工业上的应用。
金刚石的气相合成及其应用
【摘 要】
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叙述了金刚石的特性，介绍了最近研究的几种气相合成金刚石方法，给出了气相合成金刚石的必要条件以及气相合成金刚石薄膜的工业上的应用。
【机 构】
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沈阳工业大学电子工程系,产业处
【出 处】
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沈阳工业大学学报
【发表日期】
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1997年3期
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