【摘 要】
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用溶胶-凝胶法制备（Pb0.55Sr0.5）TiO3（简称PST）前驱体溶液，以三水醋酸铅、醋酸锶、钛酸丁酯为原料，乙二醇甲醚、去离子水、乙酰丙酮做溶剂，通过旋涂工艺在Pt／Ti／SiO2／Si（100）基片上沉积PS
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10774030）,广东省自然科学基金资助项目（8151009001000003）
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用溶胶-凝胶法制备（Pb0.55Sr0.5）TiO3（简称PST）前驱体溶液，以三水醋酸铅、醋酸锶、钛酸丁酯为原料，乙二醇甲醚、去离子水、乙酰丙酮做溶剂，通过旋涂工艺在Pt／Ti／SiO2／Si（100）基片上沉积PST薄膜。薄膜经320～380℃热分解，再经650℃退火30min，得到晶化好的薄膜样品，x射线衍射结果表明PST薄膜为钙钛矿立方相结构，其晶格常数为a=0．3919nm。用原子力显微镜观测其表面形貌，薄膜平均晶粒尺寸为300nm。用XPS测量了650℃退火PST薄膜样品的表面化学态，结果表明
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