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阐述了高频群脉冲电化学加工在微制造中的应用，介绍了群脉冲的产生、高频群脉冲电源从反向电流和压力波等方面对加工质量的影响以及微制造中阴极设计的原理并举例说明阴极设计过程，最后根据设计的小平面和某超薄结构件模具，进行高频群脉冲电化学加工的验证。试验表明：高频群脉冲电化学加工所带来的良好加工质量可以应用在微制造领域。