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利用质子注入和快速退火技术改变ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ量子阱能级分布，使量子阱红外探测器的光电特性发生变化，在较大地移动了探测波长的同时，探测器的响应率、探测率以及暗电流特性也发生相应变化。在质子注入剂量为２．５×１０＾１５ｃｍ＾－２、快速退火条件为９５０℃、３０ｓ时，峰值探测波长移动２μｍ。
质子注入和快速退火对GaAs／AlGaAs量子阱红外探测器的影响
【摘 要】
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利用质子注入和快速退火技术改变ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ量子阱能级分布，使量子阱红外探测器的光电特性发生变化，在较大地移动了探测波长的同时，探测器的响应率、探测率以及暗电流特性也发生相应变化。
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2000年1期
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