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论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅 )、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅 )、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光纤等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状 ,展望了压力传感器的未来。
高温压力传感器现状与展望
【摘 要】
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论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅 )、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅 )、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光纤等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状 ,展望了压力传感
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院 天津市300072,天津市300072,天津市300072,天津市30
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2002年04期
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