MWECR CVD法高速沉积α—Si：H薄膜的红外光谱研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hongmusong

【摘要】

：

应用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR CVD)方法,在较高速度下沉积了α-Si:H薄膜,用FTIR红外谱仪研究了α-Si:H薄膜的结构特性随H2/SiH4、沉积温度和沉积速率变化关系,并

【作者】

：

宋雪梅宋道颖陈蔚忠芦奇力冯贞健鲍旭红邓金祥陈光

【机构】

：

北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

MWECR-CVD法 α-Si:H薄膜 IR分析高斯函数拟合 MWECR CVDα-Si:H filmsIR analysisGauss fitting

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

应用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR CVD)方法,在较高速度下沉积了α-Si:H薄膜,用FTIR红外谱仪研究了α-Si:H薄膜的结构特性随H2/SiH4、沉积温度和沉积速率变化关系,并对2000cm-1附近的特征吸收峰用高斯函数进行了拟合分析,获得了沉积高质量α-Si:H薄膜的最佳工艺条件.

其他文献

肺癌术后早期胸腔化疗不良反应的观察及护理

术后化疗是提高肺癌术后生存率的有效方法,给药途径多为外周静脉注射,且多在术后2～3周或一月后进行[1].静脉化疗局部浓度低,疗效不佳.

期刊

肺癌术后早期胸腔化疗不良反应观察护理

HYDRASYS全自动电泳仪对Hb—F含量测定的评价

电泳分析是诊断和分离异常血红蛋白的有效方法,是诊断Hb分子病不可缺少的方法之一(1),并已成为常规实验手段.

期刊

抗碱血红蛋白HYDRASYS全自动电泳仪Hb-F含量测定

电渣感应连续定向凝固过程温度场计算与实验研究

自行研制了电渣感应连续定向凝固系统，该系统保证金属液能连续供给，结晶器能宫中热及结晶器轴向存在一定的温度梯度。本系统可用红外线测温仪控制结晶器出口的温度，用热电偶控制

期刊

定向凝固连续铸造电渣重熔感应加热温度场directional solidificationcontinuous castingeletroslag

Li2B4O7单晶的加速坩埚旋转Bridgman生长

本文的工作首次应用加速坩埚旋转(ACRT)的 Bridgman(BR)方法生长了 Li_2B_4O_7(LBO)晶体,获得直径为52mm,长为60mm 的宏观完整单晶。ACRT 将 LBO 晶体生长速度提高到 BR 生长

期刊

加速坩埚旋转生长硼酸锂单晶ACRTBridgman growthLi_2B_4O_7 single crystalsimulation

蛟河市畜禽养殖废弃物资源化利用前景

蛟河市养殖业处于快速发展阶段,随之而来的畜禽养殖污染和废弃物处理问题日益显著,畜禽养殖过程中产生大量有害气体、固体废弃物及废水,尤其个别养殖场位于风景区、水源、村

期刊

畜禽养殖废弃物资源化利用技术前景分析

建筑工程全过程造价控制管理研究

随着社会经济的不断发展与城市化进程的加快,建筑工程得以更好的建设,在建筑工程的管理过程中,全过程造价控制发挥了重要作用,其对建筑的各个环节进行良好的造价控制,在动态

期刊

工程造价全过程控制管理

定向凝固过程中胞晶生长方向顺流偏转机制的研究

本文利用透明模型合金ＳＣＮ－０．７ｗｔＥｔｈ，系统考察了定向凝固中强制性生长胞晶在生趣其生长方向的液相对作用下形态的顺流方向传转的机制。发现胞晶生长端前沿流场的不对称，其形成其溶质分布的不

期刊

定向凝固长胞晶顺流偏转晶体生长unidirectional solidifcationcrystal growth directionmelt flow

做细做实养殖场户动物防疫监管工作

近年来,畜禽养殖标准化、规模化进程显著加快,畜禽规模养殖场户数、单体饲养规模大增,做细做实畜禽规模养殖防疫监管工作对规范养殖行为、促进畜牧生产健康发展意义重大。

期刊

畜禽规模养殖免疫监管周期台账

美国创业教育对我国高等教育深化改革的启示

美国创业教育给美国带来了巨大的经济财富,其长远的创业教育理念、完善的创业教育课程体系、精干的师资队伍和全方位的社会保障条件对我国高等教育深化改革有着重要的启示作

期刊

创业教育高等教育改革

糖尿病周围神经病变的治疗现状

糖尿病周围神经病变(diabetic peripheral neuropathy,DPN)是糖尿病最常见的慢性并发症之一.文献报道DPN发病率高达90%.其发病机制尚未完全明了,但普遍认为DPN的发生与高血糖

期刊

糖尿病周围神经病变治疗血糖控制代谢调节药物醛糖还原酶抑制剂肌醇糖化作用抑制剂改善微循环药物血管扩张剂尿激酶神经营养因子维生素免疫抑制剂

MWECR CVD法高速沉积α—Si：H薄膜的红外光谱研究

与本文相关的学术论文