【摘 要】
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采用动力学蒙特卡洛方法(KMC)对AL薄膜的生长过程进行计算机模拟。运用计算机软件仿真在对基底温度为400K至1100K的不同基底温度下的铝薄膜的生长过程。仿真结果表明：基底温度
【机 构】
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长春理工大学,吉林长春,130022
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采用动力学蒙特卡洛方法(KMC)对AL薄膜的生长过程进行计算机模拟。运用计算机软件仿真在对基底温度为400K至1100K的不同基底温度下的铝薄膜的生长过程。仿真结果表明：基底温度对AL薄膜的形成与生长有着直接的关系,基底温度与成岛分子数量呈现先增加后减少的趋势,600K以下基本不会形成岛,当基底温度为900K时,岛所形成的形貌最为理想,缺陷率最低。
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